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卷对卷溅射
卷对卷溅射
用于真空室内部在金属/非金属的膜片表面上沉积的设备
根据不同物质的沉积,可具有导电性,绝缘性,散热性,电子的吸附性等性质
用于超快速制造(厚度0.001微米到100微米)
沉积厚度的偏差小,可靠性高
可以形成柔性金属层
绿色 (亲环境)沉积法
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